浏览量：5029 作者：互联网整合 2016-2-3
机油压力传感器简称MEMS，也就是我们常听到的微电子机械系统，他的整体工作涉及到系统性的零部件配合，主要涉及到的配件包括集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源，下面我们将为大家介绍的是机油压力传感器原理。
按照不同类型的分类机油压力传感器可以分为有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两种机油压力传感器在工作原理上有一定的差异。
机油压力传感器原理
硅压阻式压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的，具有较高的测量精度、较低的功耗和极低的成本。惠斯顿电桥的压阻式传感器，如无压力变化，其输出为零，几乎不耗电。
MEMS硅压阻式压力传感器采用周边固定的圆形应力杯硅薄膜内壁，采用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力最大处，组成惠斯顿测量电桥，作为力电变换测量电路，将压力这个物理量直接变换成电量，其测量精度能达0.01-0.03%FS。
电容式压力传感器利用MEMS技术在硅片上制造出横隔栅状，上下二根横隔栅成为一组电容式压力传感器，上横隔栅受压力作用向下位移，改变了上下二根横隔栅的间距，也就改变了板间电容量的大小，即△压力=△电容量。
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